IM-6120
[Modelo de campo amplio]
IM-6025/6015
[Modelo de propósito general]
IM-6140
[Modelo de alta precisión]
Campo de visión φ100×200mm
☐25×125mm
φ100mm
φ25mm
φ6mm
Precisión de repetición Sin movimiento de base:
±1 μm
Con movimiento de base:
±2 μm
Sin movimiento de base:
±0.5 μm
Con movimiento de base:
±1.5 μm
±1μm
±0.5μm
±0.1μm
Sistema de iluminación
Ajuste automático de enfoque