Perfil del borde de la oblea
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Industria:
- Semiconductores/LCDs
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Productos:
- Sensores de medición / Detección
Los perfiles de los bordes de las obleas se miden después del pulido. La Serie LJ-X puede medir la forma de la sección transversal al instante. El perfil del borde puede inspeccionarse a lo largo de toda la circunferencia girando la oblea. Incluso los cambios de forma más sutiles pueden detectarse en superalta definición con un paso mínimo de 2.5 μm (0.000098″).
