Perfil del borde de la oblea

Algunas obleas de gran diámetro se rectifican dejando unos milímetros de periferia exterior para reducir el riesgo de daños durante la transferencia y el alabeo. La Serie LJ-X puede medir instantáneamente la forma de esta periferia exterior, como la diferencia de ancho y altura. Su forma puede inspeccionarse a lo largo de toda la circunferencia girando la oblea.