Detección de la posición de la muesca

Convencionalmente, se utilizaba un sensor de desplazamiento láser 1D para detectar la posición de las muescas. A medida que las obleas se vuelven más delgadas, la detección se enfrenta al problema de que el punto no alcanza la muesca cuando el alabeo es mayor. El láser de línea de la Serie LJ-V puede hacer frente a la desalineación causada por el alabeo de las obleas.