Medición del espesor de la celda

Debido a la delgadez de cada capa, es necesario medir con gran precisión para verificar el número de capas. Si cambia el número de capas pueden variar las especificaciones de la celda. Las comprobaciones se pueden realizar con resolución de 0,1 μm y precisión de 1 μm. Su tamaño compacto facilita la instalación y ofrece una larga vida útil (hasta 200 millones de detecciones).

Sensor de medición por contacto de alta precisión

Serie GT2

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