Detección de la posición de muescas en obleas

Position detection of wafer notches

El sistema de visión detecta la posición rotacional de las muescas de obleas.

La resolución de la cámara de 5 megapíxeles y los algoritmos incorporados de la herramienta de manchas por tendencia de bordes, hacen posible detectar establemente la muesca y emitir también los datos de posición y dimensiones.

Beneficio

Se utilizaba una cámara de 2 megapíxeles para detectar la posición de la muesca, pero la repetibilidad de la cámara no era estable. Con la implementación del sistema Serie XG, una cámara de 5 megapíxeles de alta velocidad y la nueva herramienta de manchas por tendencia de bordes, la muesca se localiza consistentemente.

Sistema de visión de fácil programación